经济强的创新安徽 全球分辨率最高的商用钨灯丝扫描
经济强的创新安徽全球分辨率最高的商用钨灯丝扫描电镜在合肥诞生安徽网 2022/11/24 21:55
大皖新闻讯 11月24日，记者从合肥高新区获悉，基于我国制造业转型升级的长期发展战略，辖区企业国仪量子推出了世界上首台分辨率达到2.5纳米的钨灯丝扫描电子显微镜，突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。
电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质，如形貌、成份、结构等信息，是材料研究、质量控制与失效分析等领域应用的强大工具。作为一种应用广泛的高端科学仪器，我国扫描电镜长期以来被进口品牌垄断，国产扫描电镜在技术与产品性能上与国外品牌存在差距。
钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点，便于大众使用。但长期以来，钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前，难以实现用户对更高分辨率的追求。国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关，通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素，开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10kV高压管（高压隧道技术）的解决方案，并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。
据介绍，SEM3300在20kV分辨率达到2.5nm，比普通钨灯丝电镜提高了16%，成为了目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜。同时，作为钨灯丝电镜“王者”，SEM3300在任意电压下都表现出卓尔不群的分辨力——在3kV分辨率达到4nm，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍，在1kV分辨率达到5nm，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍，从而满足更多材料的分析测试需求。
业内人士表示，当下我国将制造业转型升级作为长期的发展战略。扫描电镜作为一种强大的分析仪器，在提升制造业产品创新能力与产品质量上将发挥很大作用。
大皖新闻记者 项磊
编辑 王翠
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